Бауманка бесплатно изготовит первую партию фотонных чипов для ученых МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» открыли прием заявок на первый контрактный запуск производства фотонных интегральных схем (ФИС) в формате MPW с разделением площади пластин между разными заказчиками. Пилотный запуск для российских научных групп будет полностью профинансирован университетом, сообщили в пресс-службе университета. Первой доступной технологической платформой станет техпроцесс на основе нитрида кремния (SiN), обеспечивающий сверхнизкие потери полезного сигнала в фотонных чипах — до 0,05 дБ/см. Это соответствует уровню ведущих мировых исследовательских и производственных центров. Разместить заказы на производство фотонных интегральных схем смогут научные группы РАН, университетов, индустриальных компаний и стартапов, работающие в области интегральной фотоники. Научную экспертизу пилотного запуска обеспечивает Российская академия наук. Разработанный МГТУ и ФГУП «ВНИИА им. Н.Л. Духова» технологический маршрут ориентирован на выпуск фотонных интегральных схем с предельно низкими оптическими потерями и возможностью термооптической модуляции сигнала. Каждый изготовленный кристалл будет содержать тестовые дорожки стандартных элементов, на которых проведут оптические измерения стандартизированных функциональных элементов ФИС и передадут результаты заказчикам. В рамках пилотного запуска планируется изготовить фотонные интегральные схемы на основе волноводов из нитрида кремния с толщиной волноводного слоя 220 нм, минимальным размером элементов 70 нм и минимальными зазорами 200 нм. Минимальная доступная площадь кристалла составит 5х5 мм, при необходимости она может быть увеличена. Для внешних заказчиков выделят до 100 кристаллов с индивидуальными топологиями в формате GDS. В основе пакета для проектирования технологии лежат апробированные командой фотоники ЭКБ ФИС кластера «Квантум Парк» решения для длины волны 1550 нм. Среди них — одномодовые волноводы с типовыми потерями 0,05 дБ/см, дифракционные решетки для ввода излучения, элементы ввода в торец кристалла, кольцевые микрорезонаторы, Y-делители, сонаправленные делители 50:50 и термооптические модуляторы с частотой более 10 кГц. В числе основных направлений применения фотонных интегральных схем на нитриде кремния в МГТУ называют квантовые и высокопроизводительные вычисления, индустриальную и биосенсорику, микрофлюидику, телекоммуникационные системы, твердотельные лидары, а также AR/VR. 📸 Пресс-служба МГТУ им. Н.Э. Баумана